| 深圳市恒运昌真空技术有限公司 |
| 地址：深圳市宝安区西乡街道铁岗社区桃花源智创小镇功能配套区B栋 电话：0755-27813086 网站：www.csl-vacuum.com |
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企业简介： 深圳市恒运昌真空技术有限公司是国内领先的半导体核心零部件整体解决方案商，专精特新“小巨人”企业，提供射频电源等卡脖子技术产品，填补了国产射频电源系统在高端集成电路装备上应用的空白，补齐了集成电路制造产业链高端射频电源依赖进口的短板。
公司是国内唯一通过半导体装备验证的供货商，已批量交付拓荆科技、北方华创等龙头设备厂商，并配套中芯国际、长江存储等领先晶圆厂商，产品技术和交付数量在国内处于领先地位，细分市场占有率超90%。 |
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重点产品介绍： 公司Bestda、Aspen/Aspen Plus系列射频电源产品，工作输出频率覆盖40kHz、400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz等，突破了射频电源功率与阻抗稳定互耦、毫秒级快速精准匹配等关键技术难点，解决了高端射频电源和匹配器的先进设计、测量和控制等难题，实现了快速精准调谐、全数字高精度控制，并具有脉冲、扫频和同步等高级功能，显著提升了高端等离子体刻蚀机、等离子体沉积设备的工艺加工能力和运行稳定性，核心技术指标达到国际领先厂商产品的水平，部分指标已超越，已批量应用于Logic、DRAM和NAND等集成电路制造，实现进口替代。
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产品展示：   |
论文初稿提交截止时间
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2023年6月30日 2023年7月22日
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工业报告征集截止时间
(
2023年7月15日 2023年7月30日
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专题讲座征集截时间
(
2023年7月15日 2023年7月30日
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论文录用通知时间
( 2023年8月15日 )
论文终稿提交时间
( 2023年9月15日 )
报名系统开放时间
( 2023年8月16日 )
大会时间
( 2023年11月10-13日 )
